半导体行业的生产过程对水的质量有着很高的要求。无论是用于清洗硅片、化学试剂配制,还是用于冷却系统和制造过程中的其他环节,水质的纯净度都直接影响到最终产品的性能和质量。
一、半导体行业对水质的要求
超纯水要求
在半导体生产过程中,水需要去除绝大部分的溶解盐、微粒和有机物,达到很高的纯净度,以免影响硅片表面的清洗效果和产品的性能。特别是在光刻、化学气相沉积(CVD)等工艺中,水质的纯净度至关重要。
无污染、无离子
半导体行业的生产过程要求水中不能含有任何可能影响产品性能的离子或杂质。高纯水不仅能够避免设备结垢,还能保证产品的电气性能和化学稳定性。
连续稳定供水
半导体生产需要大量的高纯水,且水质需要在整个生产过程中保持稳定。任何水质的波动都可能导致生产中断或产品不合格,因此需要高效、稳定的水处理设备。
二、EDI纯水设备的优势
高效除盐,提供超纯水
EDI设备通过电场和离子交换技术能够高效去除水中的离子、金属离子和其他溶解物质,确保水质达到半导体生产的要求,提供符合超纯水标准的水源。
无化学药剂,环保设计
传统水处理方法通常需要酸碱药剂进行再生,然而EDI设备不需要化学药剂,而是利用电场原理进行树脂再生,减少了化学废液的产生,符合半导体行业对环保和水质安全的严格要求。
稳定性高,保证生产连续性
EDI设备提供稳定的水质和连续供水,确保生产过程中的水质不受波动影响,避免因水质问题导致的生产停滞或产品质量问题。
节能高效,降低运营成本
EDI设备具有较低的能耗和较高的水回收率,能够在满足生产需求的同时,降低能源消耗和运营成本,提高资源利用效率。
三、EDI纯水设备在半导体行业的典型应用
硅片清洗
半导体生产中的硅片清洗是非常重要的步骤,任何微小的杂质或污染都会影响芯片的质量。EDI纯水设备提供的高纯水能够确保硅片表面无污染物,保证清洗效果和后续工艺的顺利进行。
化学试剂配制
在半导体制造过程中,化学溶液的配制要求水的纯净度J高。EDI纯水能够确保配制出的溶液符合标准,避免水中杂质影响化学反应或产品质量。
光刻工艺
光刻工艺要求使用超纯水来清洗和处理光掩模和晶圆表面,EDI设备提供的超纯水能够满足这一要求,确保光刻过程的精度和效果。
冷却水系统
半导体生产中大量使用水进行冷却。EDI设备能够提供纯净的水源,减少冷却水系统中的结垢、腐蚀现象,保障冷却系统的高效运行。