蒸汽汽提法是用蒸汽将废水中的游离氨转变为氨气逸出，其处理机理是一个气液传质过程，即在高pH（PH仪表）值时使废水与蒸汽密切接触，从而降低废水中氨浓度的过程。传质过程的推动力是气相中氨的分压与废水中氨的浓度对应的平衡分压之间的差值。

  蒸汽汽提法由于采用的工作介质是蒸汽，氨自废水进入蒸汽中，然后在塔顶精馏成为浓氨水回收，因此无须增加后处理工序。蒸汽汽提所需蒸汽体积要比空气吹脱法中所需空气体积小得多，因此设备体积较小，占地面积较少。